“朋友圈”发力 硬科技落地——山东打造8英寸碳化硅衬底生产基地

　　◎本报记者 王延斌

　　3月20日，广州南砂晶圆半导体技术有限公司(以下简称“南砂晶圆”)计划在距离广州大本营1800公里之外的济南，打造全国最大的8英寸碳化硅衬底生产基地。这与山东省委省政府顶层设计、产业布局以及招商者鲁信创业投资集团股份有限公司(以下简称“鲁信创投”)密切相关。

　　核心竞争力引来“合伙人”

　　碳化硅是制作高温、高频、大功率高压器件的理想材料之一。“碳化硅衬底可突破传统硅基半导体器件及其材料的物理极限，开发出新一代半导体器件。”南砂晶圆董事长王垚浩表示，碳化硅功率器件在新能源汽车中的渗透率正在快速提升。

　　在需求驱动下，国内各地已涌现出一批优质企业。在碳化硅衬底赛道上，创业者一方面拥抱爆发的市场需求，另一方面挑战材料质量、工艺难度、良品率等技术难题和壁垒。

　　2018年，依托山东大学晶体材料研究院徐现刚教授团队的科研成果，南砂晶圆在广州成立。此后，该企业突破了碳化硅单晶生长及衬底制备技术。但此领域的竞争，光有突破性技术还不够，高投入也是一道门槛。

　　“仅一台加工或检测设备便高达千万元。”王垚浩说。手握技术，资金何来？鲁信创投带着“朋友圈”出现了。“创新能力突出、成长空间可观”，这是鲁信创投副总经理葛效宏对南砂晶圆的评价。近年来，鲁信创投对半导体尤其是碳化硅行业，早已进行了涵盖核心耗材、衬底生产等全产业链布局。

　　2021年5月，鲁信创投成为南砂晶圆A轮融资领投方，投资逾亿元。在鲁信创投全力支持下，南砂晶圆的成果加速迭代——2021年，启动导电型衬底研发；2022年，行业率先研发出8英寸衬底并完成客户验证；2023年，导电型衬底进入批量供货阶段。

　　“产业+企业+地方”朋友圈越变越大

　　如何迅速提升产能，打破碳化硅衬底“一片难求”的供给现状？这是王垚浩和“合伙人”鲁信创投共同面对的问题。

　　“高质量招商引资是建设现代化产业体系的有效路径，是巩固和增强经济回升向好态势的关键举措，是增强发展后劲的有力抓手。”在今年“新春第一会”上，山东省委书记林武表示。

　　彼时，山东省做出规划，明确要“打造百亿级国家第三代半导体产业高地”，并向业界发出了“邀请函”。

　　“我们全程参与了南砂晶圆扩产计划的酝酿、讨论、调研及最后敲定，第一时间掌握消息”。葛效宏团队评估后认为，山东有产业基础与潜力，引入南砂晶圆，将实现多赢。

　　为了在产业需求、企业诉求、地方要求上打造一个共赢方案，鲁信创投邀请南砂晶圆加入了山东半导体产业“朋友圈”。

　　得益于鲁信创投的全产业链资源，南砂晶圆在济南新注册成立了山东中晶芯源半导体科技有限公司，能够对接更多关键材料提供方及上下游供应商，使其99%的原材料、95%的主要设备实现了国产化。

　　“目前，我们90%以上的资金投入‘硬科技’领域，已成功培育了一批新材料、高端制造等领域的行业龙头企业。”鲁信创投党委书记、董事长王旭冬表示，下一步我们将围绕山东产业发展现有基础及战略布局，对接更多龙头企业、重点工业企业来山东投资。(王延斌)